175年真空技术先驱:从1850年工匠作坊到半导体产业链的Leybold传奇 | 达斯奇自动化

2026-08-19 作者 达斯奇自动化 0

1850 年,Ernst Leybold 在德国科隆开了一间小作坊。175 年后的今天,Leybold 已是真空技术领域最古老、也最受尊敬的名字之一——产品横跨整条产业链,从分析仪器、研发实验室,一直到半导体镀膜和太阳能电池制造。

1850-2025:一条真空创新的时间线

  • 1850:Ernst Leybold 在科隆创立公司,最初生产精密机械和物理仪器
  • 20 世纪初:进入真空泵制造,旋片泵成为招牌产品(TRIVAC 系列一直生产到今天)
  • 20 世纪中后期:扩展到涡轮分子泵、扩散泵、低温泵,构建从粗真空到超高真空的完整产品线
  • 21 世纪:进入半导体和太阳能供应链,镀膜、刻蚀等工艺的真空方案成为核心业务
  • 现在:隶属于 Atlas Copco 集团,全球运营

TRIVAC:最长寿的真空泵产品线之一

TRIVAC 油封旋片泵已经生产了约 90 年,历经无数次迭代,却始终保留着油封旋片的核心架构。一条产品线能活近一个世纪而不被淘汰,本身就是最强的工程背书。最新的 TRIVAC L 延续这一传统,同时加入了专利三级气镇阀、优化风冷和更高效的油腔设计。

从实验室到太空

Leybold 的真空技术覆盖面极广:

  • 分析仪器:质谱仪、电子显微镜的前级真空
  • 研究实验室:粒子加速器、聚变研究
  • 半导体:镀膜、刻蚀、离子注入
  • 太阳能:电池制造工艺

对国内核心零部件产业来说,Leybold 的 175 年是一个值得借鉴的样本——真正的技术壁垒,是几十年如一日的工艺积累,而不是一时的风口。


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参考来源:PneumaticTips「Vacuum pioneer Leybold celebrates 175th anniversary」| Leybold 官方资料