FESTO Controlled Pneumatics比例控制气动技术：全球首款高精度比例阀岛VTEP——压力控制精度优于1mbar，节能50%

FESTO Controlled Pneumatics（比例控制气动技术）正在为气动技术开辟全新应用领域，其核心成果 VTEP 是全球首款高精度比例阀岛。该技术以空前的精度和控制能力带来了显著节能潜力——通过高精度压电阀，压缩空气消耗量可降低高达 50%。

VTEP：全球首款比例阀岛的技术突破

VTEP 是市场上第一款比例阀岛，提供高精度、快速响应时间和动态控制能力。得益于 Controlled Pneumatics 技术，VTEP 可实现低于 1 mbar 的极灵敏压力控制——非常适合晶圆抛光或生命科学领域的膜片钳（patch clamping）等高要求应用。这一精度水平使 VTEP 能够在加速生产的同时确保更高品质的制造产出。

在不到 120 mm 的宽度内，VTEP 是市面上最紧凑的比例阀岛，提供多达 10 个独立工作通道的压力控制能力。三种版本可选：2位、3位和5位阀位，均可轻松集成以满足多通道应用需求。

压力与真空双重控制：-1 bar 至 +6 bar

压力和真空可在 -1 至 +6 bar 正压力的控制范围内自由组合。每个阀门可独立控制以调节压力、阻断或排空系统压力。直接控制的 VTEP 采用压电技术，结合适配的控制系统，使气动系统极其精准、高速且经济高效。

压电阀的额外优势包括：运行安静、无磨损、无颗粒磨蚀、不产生热量——这些特性确保了随时间推移更稳定的控制行为。此外，VTEP 比例阀岛不含铜、镍和锌，非常适合电池生产及其他对这些材料敏感的工业领域。

半导体与电池制造中的应用

在晶圆生产中，VTEP 可极其精准地控制抛光单元各独立抛光腔室的可变接触压力，即使在抛光薄型晶圆时也能确保整个加工表面的卓越质量。VTEP 阀岛同样可作为大型介质阀的先导阀使用，在光刻工艺等应用中发挥关键作用。

在电池制造领域，VTEP 的无铜、无镍、无锌特性尤为关键，避免了对电池化学性能产生破坏性影响的材料污染。无论是电极涂布、隔膜处理还是电解液注入，VTEP 的精密压力控制能力都可显著提升良率和一致性。

跨行业竞争优势

VTEP 展示了 FESTO 工业自动化技术如何使机器和系统更快、更精准，帮助电子与半导体、电池生产、生命科学、纺织制造等行业的客户获得决定性竞争优势。FESTO Controlled Pneumatics 技术代表了对传统气动的根本性重新思考——将比例技术、传感器系统和数字控制融合为一个协调的整体系统。

来源：industryemea.com，FESTO News，2024年