​​”XLA-100D-M9NA高真空L型阀:突破10⁻⁶ Pa极限,半导体制造的真空守护神!”​​

2025-07-30 作者 xyj2024 0

▶ 颠覆性产品亮点

  1. ​真空性能碾压同级​
  • 达到​​10⁻⁶ Pa超高真空​​(较普通阀门提升2个数量级)
  • 独创​​L型流道专利设计​​,流导提升35%,抽气效率翻倍
  1. ​军工级密封系统​
  • 三重密封防护:​​金属波纹管+氟橡胶+磁流体密封​
  • 泄漏率<​​1×10⁻¹² Pa·m³/s​​(通过ISO 15848-1 AH认证)
  1. ​智能监控黑科技​
  • 内置​​阀位传感器​​,实时反馈开关状态
  • 可选配​​温度/振动监测模块​​,预防性维护
  1. ​极端环境适应力​
  • 耐受​​250℃高温烘烤​​(行业平均仅150℃)
  • ​50万次​​寿命测试零故障(第三方报告)

▶ 行业解决方案

★ 晶圆厂PVD/CVD设备 ★ 航天器真空测试舱
★ 量子实验室 ★ 光伏镀膜生产线

▶ 为什么是终极选择?

“​​1个阀门=3重保障!​​” 从材料纯度(316L超镜面抛光)到动态密封(德国进口波纹管),每个细节都超越SEMI标准,让您的真空系统彻底告别”微泄漏”噩梦!

XLAV-25G-M9//-5H
XLAV-16G-2M9//-5GZ
XLA-63AH3
XLA-63DH2
XLA-25-2M9//
XLAV-63F-3G
XLA-40A-M9BLA-X1810
XLA-25A-F9NC
XLA-63DLH0
XLA-63AH0-F9NA
XLA-25A-M9NLA
XLA-25-2M9BLA
XLA-40AH1-F9NLA
XLA-25A-M9//
XLA-80DAH2-F9NLA
XLAV-25F-4G
XLAV-80F-1G
XLA-50AH3-F9NLA
XLA-25A-M9NC
XLA-63H2-F9NLA
XLA-80DH3
XLA-16A-2M9//
XLA-80H1
XLAV-50F-2M9BA-4G
WXLA157
XLA-50H0-F9NLA
XLAV-40L-M9NA-5G
XLAV-63F-1G
XLA50-2-101
XLAV-63G-M9NA-5G
XLA-63DH0-F9NLA
XLA-80DA-F9NLA
XLAV-63F-5G
XLA-25G-M9//
XLAV-80F-4G
XLA-16-F9NLA
XLA-25H7-2
XLA-25G-2M9//
XLAV-16G-M9//-5H
XLA-63DGH0
XLA-40H0
XLAV-16F-5GZ
XLAV-40F-F9NA-5G
XLA-50