VFS4210-4DB 电磁阀（间隙密封/非插入式）—— 零泄漏，长寿命，高精度流体控制
2025-07-25
产品概述
VFS4210-4DB 是一款采用间隙密封技术的非插入式电磁阀，专为高洁净度、低泄漏要求的流体控制系统设计。其独特的无接触式密封结构可避免传统密封件的磨损问题，适用于半导体、医疗、分析仪器等对污染敏感的应用场景。
核心优势
✅ 革命性间隙密封 —— 通过精密加工的微米级间隙实现密封，无物理接触，杜绝颗粒产生（满足ISO 14644-1 Class 4洁净度）。
✅ 无限寿命设计 —— 无传统密封件磨损问题，理论寿命超过10亿次循环。
✅ 极致洁净 —— 全不锈钢流道+电解抛光处理（Ra≤0.4μm），适合超高纯介质。
✅ 超低泄漏率 —— 泄漏量＜1×10⁻⁹ Pa·m³/s（氦气检测），优于绝大多数接触式密封。
✅ 快速响应 —— 动作时间≤5ms，支持高频切换（最高100Hz脉冲工作）。
典型应用
- 半导体设备：晶圆加工气体控制、真空腔体隔离
- 医疗设备：体外诊断仪器、呼吸治疗设备
- 分析仪器：色谱仪、质谱仪载气控制
- 科研装置：粒子加速器真空系统
技术参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 密封类型 | 非接触式间隙密封（间隙3-5μm） |
| 接口尺寸 | 1/4″ VCR（可选NW/KF法兰） |
| 适用介质 | 高纯气体、真空（腐蚀性介质需定制） |
| 耐压等级 | 真空~1.0MPa（超高真空型可达10⁻⁸ Pa） |
| 泄漏率 | ＜1×10⁻⁹ Pa·m³/s（氦检） |
| 材质 | 316L不锈钢（EP级电解抛光） |
| 驱动方式 | 直流脉冲式（24VDC±10%） |
| 功耗 | 6W（瞬时功率≤15W） |
| 环境温度 | -20℃~80℃（高温型150℃可选） |
行业突破性创新
▸ 相比传统电磁阀：
- 污染降低100倍（无密封件磨损颗粒）
- 寿命延长1000倍（无接触磨损）
- 能耗减少40%（优化电磁回路设计）
选型指南
- 标准型：常规高纯气体控制（O₂、N₂等）
- 真空型：配金属密封法兰，适用于10⁻⁴ Pa以上真空
- 防爆型：符合ATEX认证，用于危险区域
VFS4210-4DB重新定义了超洁净流体控制的标准，是高端制造与科研领域的终极选择！
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